GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定二次离子质谱法_标准下载

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GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定二次离子质谱法

Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method

GB/T 42263-2022

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标准GB/T 42263-2022标准状态

发布于：2022-12-30
实施于：2023-04-01
废止

标准详情

标准名称：硅单晶中氮含量的测定二次离子质谱法
标准号：GB/T 42263-2022
中国标准分类号：H17
发布日期：2022-12-30
国际标准分类号：77.040
实施日期：2023-04-01
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：冶金金属材料试验

内容简介

国家标准《硅单晶中氮含量的测定二次离子质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。本文件适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×1020cm-3（0.2%）的硅单晶中氮含量的测定，测定范围不小于1×1014cm-3。

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、

起草人

马农农、何友琴、刘立娜、何烜坤、李素青、陈潇、

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