标准详情
- 标准名称:洁净室及相关受控环境 第14部分:按粒子浓度评估设备适用性
- 标准号:GB/T 25915.14-2022
- 中国标准分类号:C70
- 发布日期:2022-12-30
- 国际标准分类号:13.040.35
- 实施日期:2023-07-01
- 技术归口:全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
- 代替标准:
- 主管部门:国家标准化管理委员会
- 标准分类:环保、保健和安全空气质量清洁室(无菌室)及相关受控环境
国家标准《洁净室及相关受控环境 第14部分:按粒子浓度评估设备适用性》由TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件适用于评估在洁净室及相关受控环境中使用的机械、测试设备、工艺设备、部件及工具等设备的适用性。根据GB/T 25915.1,关注悬浮粒子粒径范围为0.1μm至大于或等于5μm。本文件不适用于:根据微生物污染评估适用性;对清洁剂及清洁技术的适用性进行测试;设备和材料的可清洁性;设备设计及材料选择的要求;材料的静电、热学等物理性能;具体工艺场合设备性能的优化;测试统计方法的选用;当地安全法规的条款和要求。
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