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GB/T 42676-2023 半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法

GB/T 42676-2023 半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法

Test method for crystalline quality of semiconductive single crystal—X-ray diffraction method

GB/T 42676-2023

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标准GB/T 42676-2023标准状态

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标准详情

  • 标准名称：半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法
  • 标准号：GB/T 42676-2023
    中国标准分类号：H21
  • 发布日期：2023-08-06
    国际标准分类号：77.040
  • 实施日期：2024-03-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：冶金金属材料试验

内容简介

国家标准《半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件描述了利用X射线衍射仪测试半导体材料双晶摇摆曲线半高宽，进而评价半导体单晶晶体质量的方法。本文件适用于碳化硅、金刚石、氧化镓等单晶材料晶体质量的测试，硅、砷化镓、磷化铟等半导体材料晶体质量的测试也可参照本文件执行。

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京通美晶体技术股份有限公司、弘元新材料（包头）有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司、江苏卓远半导体有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、山东有研半导体材料有限公司、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司、国标（北京）检验认证有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、新美光（苏州）半导体科技有限公司、

起草人

何烜坤、 刘立娜、 马春喜、 许蓉、 朱晓彤、 李向宇、 王书明、 赵松彬、 张新峰、 赵丽丽、 李素青、庞越、任殿胜、王元立、杨阳、潘金平、林泉、李国平、夏秋良、

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