当前位置：标准网 国家标准

GB/T 42789-2023 硅片表面光泽度的测试方法

GB/T 42789-2023 硅片表面光泽度的测试方法

Test method for gloss of silicon wafer

GB/T 42789-2023

国家标准推荐性
收藏 报错

标准GB/T 42789-2023标准状态

  1. 发布于：
  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 标准名称：硅片表面光泽度的测试方法
  • 标准号：GB/T 42789-2023
    中国标准分类号：H21
  • 发布日期：2023-08-06
    国际标准分类号：77.040
  • 实施日期：2024-03-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：冶金金属材料试验

内容简介

国家标准《硅片表面光泽度的测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件描述了采用光反射法以20°、60°或85°几何条件测试硅片表面光泽度的方法。本文件适用于硅腐蚀片、抛光片、外延片表面光泽度的测试，不适用于表面有图形的硅片的测试。

起草单位

浙江金瑞泓科技股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、山东有研半导体材料有限公司、麦斯克电子材料股份有限公司、浙江旭盛电子有限公司、金瑞泓科技（衢州）有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、天津中环领先材料技术有限公司、上海合晶硅材料股份有限公司、广东金湾高景太阳能科技有限公司、巢湖学院、

起草人

梁兴勃、 李琴、 潘金平、 李素青、 边永智、 庄智慧、 韩云霄、 徐志群、 王可胜、 张海英、林松青、张雪囡、由佰玲、沈辉辉、焦二强、付明全、詹玉峰、

相近标准

GB/T 6621-2009 硅片表面平整度测试方法
20214927-T-604 搪瓷制品和瓷釉 光泽度测试方法
GB/T 29505-2013 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
GB/T 24578-2015 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法
GB/T 30860-2014 太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法
SJ/T 11632-2016 太阳能电池用硅片微裂纹缺陷的测试方法
GB/T 40279-2021 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法
DB65/T 3068-2010 毛绒色彩和光泽度测试方法
20214167-T-604 超疏水表面的机械稳定性测试方法
SJ/T 11630-2016 太阳能电池用硅片几何尺寸测试方法

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

  • 标准质量：

    • 下载说明

  • ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
    ② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们，感谢！
    ③ 本站资源均来源于互联网，仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。
  • 在线纠错
    • 标准过期 下载问题 模糊有误 其它问题

    「相关推荐」