GB/T 35306-2023 硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法_标准下载

GB/T 35306-2023 硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法

Determination of carbon and oxygen content in single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry method

GB/T 35306-2023

国家标准推荐性

收藏报错

标准GB/T 35306-2023标准状态

发布于：2023-08-06
实施于：2024-03-01
废止

标准详情

标准名称：硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法
标准号：GB/T 35306-2023
中国标准分类号：H17
发布日期：2023-08-06
国际标准分类号：77.040
实施日期：2024-03-01
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
代替标准：代替GB/T 35306-2017
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：冶金金属材料试验

内容简介

国家标准《硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件描述了采用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳、间隙氧含量的方法。本文件适用于室温电阻率大于1Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于3Ω·cm的p型硅单晶中代位碳、间隙氧含量的测定，测定范围（以原子数计）为2.5×1014cm-31.5×1017cm-3。

起草单位

青海芯测科技有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、弘元新材料（包头）有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、布鲁克（北京）科技有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、高景太阳能股份有限公司、

起草人

薛心禄、秦榕、邓浩、岳玉芳、张园园、赵跃、陈卫国、路盛刚、邱艳梅、李向宇、汪奇、李素青、杨晓青、李明珍、赵雄、雷浩东、蔡延国、徐岩、张遵、杨阳、徐志群、

相近标准

GB/T 35306-2017 硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法
GB/T 24581-2022 硅单晶中III、V族杂质含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法
YS/T 1035-2015 铝电解质中碳含量的测定红外吸收光谱法
SN/T 2326-2009 食品及油脂中反式脂肪酸含量的检测傅立叶变换红外光谱法
EJ/T 20154-2018 铀矿石中硫、总碳、有机碳及无机碳的测定红外吸收法
SN/T 3001-2011 精炼汽油中含氧化合物、苯、甲苯、C8-C12芳烃和总芳烃含量的测定气相色谱/傅立叶变换红外光谱法
HS/T 29-2010 碳纤维中碳含量的测定高频红外碳硫分析仪法
SN/T 2946-2011 乙烯-乙酸乙烯酯共聚物中乙酸乙烯酯含量的测定傅立叶变换红外光谱法
DB21/T 2751-2017 海水中微塑料的测定傅立叶变换显微红外光谱法
DB51/T 1694-2013 汽油中甲醇和氧含量的测定红外光谱法

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

标准网本地下载