GB/T 42659-2023 表面化学分析扫描探针显微术采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准_标准下载

GB/T 42659-2023 表面化学分析扫描探针显微术采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准

Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems

GB/T 42659-2023

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标准GB/T 42659-2023标准状态

发布于：2023-08-06
实施于：2024-03-01
废止

标准详情

标准名称：表面化学分析扫描探针显微术采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准
标准号：GB/T 42659-2023
中国标准分类号：G04
发布日期：2023-08-06
国际标准分类号：71.040.40
实施日期：2024-03-01
技术归口：全国微束分析标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术分析化学化学分析

内容简介

国家标准《表面化学分析扫描探针显微术采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件描述了用于最高等级几何量测量的扫描探针显微镜（SPM）扫描轴的表征和校准方法，适用于提供进一步校准的测量系统，而不适用于校准等级需求较低的一般工业应用。

起草单位

中国计量科学研究院、西安交通大学、上海市计量测试技术研究院、

起草人

李伟、蔡潇雨、程碧瑶、魏佳斯、李适、杨树明、高思田、

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