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GB/T 26307-2010 银靶

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GB/T 26307-2010

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标准GB/T 26307-2010标准状态

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  • 标准名称：银靶
  • 标准号：GB/T 26307-2010
    中国标准分类号：H68
  • 发布日期：2011-01-14
    国际标准分类号：77.120.99
  • 实施日期：2011-11-01
    技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：中国有色金属工业协会
  • 标准分类：冶金有色金属其他有色金属及其合金

内容简介

国家标准《银靶》由TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口，TC243SC5（全国有色金属标准化技术委员会贵金属分会）执行，主管部门为中国有色金属工业协会。
本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志，包装、运输，贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材(以下简称银靶)。其他用途的靶材也可参照使用。

起草单位

北京有研亿金新材料股份有限公司、

起草人

闫琳、 杨华、 雷继锋、 熊晓东、 李蕊、杨永刚、江轩、

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