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GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference

GB/T 8758-2006

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标准GB/T 8758-2006标准状态

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  • 标准名称：砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
  • 标准号：GB/T 8758-2006
    中国标准分类号：H17
  • 发布日期：2006-07-18
    国际标准分类号：77.040.01
  • 实施日期：2006-11-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会,全国有色金属标准化技术委员会
  • 代替标准：代替GB/T 8758-1988,GB/T 8758-1989
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：冶金金属材料试验金属材料试验综合

内容简介

国家标准《砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）、全国有色金属标准化技术委员会联合归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阴率小于0.02Ω?cm，外延层的电阴率大于0.1Ω?cm。

起草单位

北京有色金属研究总院、

起草人

王彤涵、

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