GB/T 17170-2015 半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度红外吸收测试方法
GB/T 17170-2015
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标准GB/T 17170-2015标准状态
- 发布于:2015-12-10
- 实施于:2016-07-01
- 废止
内容简介
国家标准《半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度红外吸收测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了半绝缘砷化镓单晶深施主 EL2浓度的红外吸收测试方法。 本标准适用于电阻率大于10^6 Ω·cm 的非掺杂和碳掺杂半绝缘砷化镓单晶深施主 EL2浓度的测定。 本标准不适用于掺铬半绝缘砷化镓单晶深施主 EL2浓度的测定。
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子材料行业协会、天津市环欧半导体材料技术有限公司、
起草人
何秀坤、 李静、 张雪囡、
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