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GB/T 29658-2013 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材

GB/T 29658-2013 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材

High-Purity sputtering aluminium and aluminium alloy target used in electronic film

GB/T 29658-2013

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  • 标准名称：电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材
  • 标准号：GB/T 29658-2013
    中国标准分类号：H61
  • 发布日期：2013-09-06
    国际标准分类号：77.120.10
  • 实施日期：2014-05-01
    技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：中国有色金属工业协会
  • 标准分类：冶金有色金属铝和铝合金

内容简介

国家标准《电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材》由TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口，TC243SC1（全国有色金属标准化技术委员会轻金属分会）执行，主管部门为中国有色金属工业协会。
本标准规定了电子薄膜制备用高纯铝及铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、存贮、订货单(或合同)等内容。 本标准适用于电子薄膜用各类高纯铝及铝合金溅射靶材(以下简称铝靶)。

起草单位

有研亿金新材料股份有限公司、新疆众和股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司、

起草人

万小勇、 罗俊锋、 杨华、 朱晓光、 廖赞、尚再艳、孙秀霖、

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