GB/T 43612-2023 碳化硅晶体材料缺陷图谱_标准下载

当前位置：标准网国家标准

GB/T 43612-2023 碳化硅晶体材料缺陷图谱

Collection of metallographs on defects in silicon carbide crystal materials

GB/T 43612-2023

国家标准推荐性

收藏报错

标准GB/T 43612-2023标准状态

发布于：2023-12-28
实施于：2024-07-01
废止

标准详情

标准名称：碳化硅晶体材料缺陷图谱
标准号：GB/T 43612-2023
中国标准分类号：H80
发布日期：2023-12-28
国际标准分类号：29.045
实施日期：2024-07-01
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《碳化硅晶体材料缺陷图谱》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件规定了导电型4H碳化硅(4HSiC)晶体材料缺陷的形貌特征，产生原因和缺陷图谱。本文件适用于半导体行业碳化硅（晶锭、衬底片、外延片及后续工艺)的研发、生产及检测分析等环节。

起草单位

广东天域半导体股份有限公司、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟、河北同光半导体股份有限公司、山西烁科晶体有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司、中国科学院半导体研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所、南京国盛电子有限公司、新美光（苏州）半导体科技有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、山东天岳先进科技股份有限公司、北京大学东莞光电研究院、河北普兴电子科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、湖州东尼半导体科技有限公司、中电化合物半导体有限公司、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司、江苏卓远半导体有限公司、

起草人

丁雄杰、刘薇、李素青、丁晓民、张红岩、杨昆、高伟、路亚娟、钮应喜、晏阳、吴殿瑞、李国鹏、张胜涛、夏秋良、韩景瑞、贺东江、张红、李焕婷、李斌、尹浩田、佘宗静、王阳、姚康、金向军、张新峰、赵丽丽、李国平、

相近标准

GB/T 8756-2018 锗晶体缺陷图谱
GB/T 35316-2017 蓝宝石晶体缺陷图谱
GB/T 30453-2013 硅材料原生缺陷图谱
GB/T 18000-1999 木材缺陷图谱
YS/T 1465-2021 钛及钛合金加工产品外观缺陷术语及图谱
JB/T 8753-1998 电触头材料金相图谱
CB/T 3409-1991 舰船材料金相图谱
GB/T 42902-2023 碳化硅外延片表面缺陷的测试激光散射法
GB/T 43493.1-2023 半导体器件功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据第1部分：缺陷分类
GB/T 26872-2011 电触头材料金相图谱

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

标准网本地下载

标准质量：

下载说明

① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们，感谢！
③ 本站资源均来源于互联网，仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。

在线纠错

标准过期下载问题模糊有误其它问题