GB/T 31093-2014 蓝宝石晶锭应力测试方法
GB/T 31093-2014
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标准GB/T 31093-2014标准状态
- 发布于:2014-12-22
- 实施于:2015-09-01
- 废止
内容简介
国家标准《蓝宝石晶锭应力测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了蓝宝石单晶晶锭的应力测试方法。 本标准适用于经过加工后直径为50.8mm~200mm的c向蓝宝石晶锭的应力测试,其他尺寸蓝宝石晶锭的应力测试可参照使用。
起草单位
协鑫光电科技(江苏)有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、
起草人
刘逸枫、 魏明德、 肖宗杰、 徐养毅、杭寅、
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