GB/T 43661-2024 表面化学分析扫描探针显微术用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜（ESPM，如SSRM和SCM）空间分辨的定义和校准_标准下载

GB/T 43661-2024 表面化学分析扫描探针显微术用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜（ESPM，如SSRM和SCM）空间分辨的定义和校准

Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes

GB/T 43661-2024

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标准GB/T 43661-2024标准状态

发布于：2024-03-15
实施于：2024-10-01
废止

标准详情

标准名称：表面化学分析扫描探针显微术用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜（ESPM，如SSRM和SCM）空间分辨的定义和校准
标准号：GB/T 43661-2024
中国标准分类号：G04
发布日期：2024-03-15
国际标准分类号：71.040.40
实施日期：2024-10-01
技术归口：全国微束分析标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术分析化学化学分析

内容简介

国家标准《表面化学分析扫描探针显微术用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜（ESPM，如SSRM和SCM）空间分辨的定义和校准》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件描述了用于测量扫描电容显微镜（scanning capacitance microscope，SCM）或扫描扩展电阻显微镜（scanning spreading resistance microscope，SSRM）空间（横向）分辨的方法，该方法涉及使用锐边的器件。这2种显微镜广泛应用于半导体器件的载流子分布成像和其他电学特性的测量。

起草单位

中山大学、暨南大学、广东工业大学、

起草人

龚力、杨慕紫、谢伟广、谢方艳、陈瑜、张浩、丁喜冬、陈建、

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