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GB/T 43976-2024 电子气体 四氟甲烷

GB/T 43976-2024 电子气体 四氟甲烷

Electronic gas—Tetrafluoromethane

GB/T 43976-2024

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标准GB/T 43976-2024标准状态

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  • 标准名称:电子气体 四氟甲烷
  • 标准号:GB/T 43976-2024
    中国标准分类号:G86
  • 发布日期:2024-04-25
    国际标准分类号:71.100.20
  • 实施日期:2024-11-01
    技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准:
    主管部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子气体 四氟甲烷》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件规定了电子级四氟甲烷的技术要求、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求,描述了相关的试验方法。本文件适用于由工业四氟甲烷提纯制备的四氟甲烷。

起草单位

浙江省化工研究院有限公司、杭氧集团股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江巨化技术中心有限公司、江西华特电子化学品有限公司、江苏雅克科技股份有限公司、金宏气体股份有限公司、杭州德成科技服务有限公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处(杭州国家电子商务产品质量监测处置中心)、宿州伊维特新材料有限公司、中国计量大学、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、和立气体(上海)有限公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司、昊华气体有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体有限公司、天津绿菱气体有限公司、中化蓝天氟材料有限公司、福建久策气体股份有限公司、上海伟创标准气体分析技术有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、浙江解氏新材料股份有限公司、浙江省标准化研究院、上海申南特种气体有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、

起草人

史婉君、 王娟、 胡迎、 付梦月、 王占卫、 袁瑞玲、 马建修、 陈程、 何西、 禹金龙、 沈琦、 郭华轩、 沈益军、 潘金平、 吕博文、 万娟秀、 刘亮、 张朋越、 方华、 郑新蕊、 黄辉、 刘扬涛、 李阳、 梁永强、 赵帅德、 马昌宁、 彭诚、 张琦炎、罗霞、李企真、朱晓平、傅铸红、陈艳珊、褚人财、李霞、曹素英、何经余、王新喜、孙猛、洪倩、石林、朱明、谈益强、陈洁、吴靓、何波、黄小强、宫兵、易达文、梁成科、高静、周鹏云、刘定川、

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