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GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

Guidelines for photomask defect classification and size definition

GB/T 16880-1997

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  • 标准名称：光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
  • 标准号：GB/T 16880-1997
    中国标准分类号：L97
  • 发布日期：1997-06-20
    国际标准分类号：31.020
  • 实施日期：1998-03-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电子学电子元器件综合

内容简介

国家标准《光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本准则的范围是制定有关光掩模缺陷分类用的标准术语，并规定缺陷大小的表达方法。确定光掩模缺陷时应遵循这个准则。

起草单位

中国科学院微电子中心、

起草人

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