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GB/T 39163-2020 靶材与背板结合强度测试方法

GB/T 39163-2020 靶材与背板结合强度测试方法

Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies

GB/T 39163-2020

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标准GB/T 39163-2020标准状态

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  • 标准名称：靶材与背板结合强度测试方法
  • 标准号：GB/T 39163-2020
    中国标准分类号：H22
  • 发布日期：2020-11-19
    国际标准分类号：19.060
  • 实施日期：2021-10-01
    技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：中国有色金属工业协会
  • 标准分类：试验机械试验

内容简介

国家标准《靶材与背板结合强度测试方法》由TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口，TC243SC2（全国有色金属标准化技术委员会重金属分会）执行，主管部门为中国有色金属工业协会。
本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。注：靶材与背板结合方式包括钎焊（传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等）、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩擦焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。

起草单位

有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院、山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司、

起草人

丁照崇、 陈明、 贺昕、 林若虚、 曹欢欢、 王云能、 曹晓萌、 张静、 赵永善、熊晓东、李勇军、张晓娜、袁海军、李利利、王传军、

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