GB/T 25755-2010 真空技术溅射离子泵性能参数的测量_标准下载

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GB/T 25755-2010 真空技术溅射离子泵性能参数的测量

Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics

GB/T 25755-2010

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标准GB/T 25755-2010标准状态

发布于：2010-12-23
实施于：2011-10-01
废止

标准详情

标准名称：真空技术溅射离子泵性能参数的测量
标准号：GB/T 25755-2010
中国标准分类号：J78
发布日期：2010-12-23
国际标准分类号：23.160
实施日期：2011-10-01
技术归口：全国真空技术标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：中国机械工业联合会
标准分类：流体系统和通用件真空技术

内容简介

国家标准《真空技术溅射离子泵性能参数的测量》由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国机械工业联合会。
本标准规定了溅射离子泵(以下简称离子泵)性能参数的测量方法。本标准适用于名义体积流率大于10L／s的离子泵。本标准测量体积流率的压力范围从1.5X10-3Pa到1X10-7Pa。注:本标准保证了离于泵性能参数的澜量在相同的条件下按相同的方法进行．由此做到由各制造厂家或务实验室所作的测量与制造厂家在样本中给定的资料是可比的。

起草单位

北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所、

起草人

邹蒙、张勤德、李春影、朱国精、马殿理、

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