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GB/T 22572-2008 表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法

GB/T 22572-2008 表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法

Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials

GB/T 22572-2008

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标准GB/T 22572-2008标准状态

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  • 标准名称:表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法
  • 标准号:GB/T 22572-2008
    中国标准分类号:G04
  • 发布日期:2008-12-11
    国际标准分类号:71.040.40
  • 实施日期:2009-10-01
    技术归口:全国微束分析标准化技术委员会
  • 代替标准:
    主管部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:化工技术分析化学化学分析

内容简介

国家标准《表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口,TC38SC2(全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准详细说明了在SIMS深度剖析中,用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽三个深度分辨参数的步骤。由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定,本标准不适用于近表面区域的δ层。

起草单位

信息产业部专用材料质量监督检验中心、

起草人

马农农、 何友琴、 何秀坤、

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