GB/T 28632-2012 表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率测定_标准下载

GB/T 28632-2012 表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率测定

Surface chemical analysis － Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy － Determination of lateral resolution

GB/T 28632-2012

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标准GB/T 28632-2012标准状态

发布于：2012-07-31
实施于：2013-02-01
废止

标准详情

标准名称：表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率测定
标准号：GB/T 28632-2012
中国标准分类号：G04
发布日期：2012-07-31
国际标准分类号：71.040.40
实施日期：2013-02-01
技术归口：全国微束分析标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术分析化学化学分析

内容简介

国家标准《表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率测定》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1μm的仪器。栅格法适合于横向分辨率预期值大于20nm,小于1μm的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50nm的仪器。附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。

起草单位

上海市计量测试技术研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心、

起草人

徐建、陆敏、辛立辉、何丹农、吴立敏、朱丽娜、张冰、

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