JB/T 8945-1999 真空溅射镀膜设备
JB/T 8945-1999
行业标准-JB 机械推荐性收藏报错
标准JB/T 8945-1999标准状态
- 发布于:1999-07-12
- 实施于:2000-01-01
- 废止
内容简介
行业标准《真空溅射镀膜设备》,主管部门为国家机械工业局。本标准规定了真空溅射镀膜设备的型号和基本参数,技术要求,试验方法,榆验规则,标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在1×10^(-4)~5×10^(-3)Pa范围的真空贱射镀膜设备。
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