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JB/T 10439-2004 单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉

JB/T 10439-2004 单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉

JB/T 10439-2004

行业标准-JB 机械推荐性
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  • 标准名称：单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉
  • 标准号：JB/T 10439-2004
    中国标准分类号：K61
  • 发布日期：2004-03-12
    国际标准分类号：25.180
  • 实施日期：2004-08-01
    技术归口：全国工业电热设备标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家发展和改革委员会
  • 标准分类：机械制造工业炉电炉JB 机械

内容简介

行业标准《单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉》由全国工业电热设备标准化技术委员会归口上报，主管部门为国家发展和改革委员会。本标准规定了对TDR系列直拉法单晶炉(以下简称单晶炉)的各项要求，包括品种规格、技术要求、试验方法、检验规则及订购和供货等。本标准适用丁直拉法拉制半导体硅、锗等单品的单品炉。

起草单位

西安理工大学晶体生长设备研究所

起草人

陈巨才

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