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JB/T 6922-2004 真空蒸发镀膜设备

JB/T 6922-2004 真空蒸发镀膜设备

JB/T 6922-2004

行业标准-JB 机械推荐性
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标准详情

  • 标准名称：真空蒸发镀膜设备
  • 标准号：JB/T 6922-2004
    中国标准分类号：J78
  • 发布日期：2004-10-20
    国际标准分类号：23.160
  • 实施日期：2005-04-01
    技术归口：全国真空技术标准化技术委员会
  • 代替标准：代替JB/T 6922-1993被JB/T 6922-2015代替
    主管部门：国家发展和改革委员会
  • 标准分类：流体系统和通用件JB 机械

内容简介

行业标准《真空蒸发镀膜设备》由全国真空技术标准化技术委员会归口上报，主管部门为国家发展和改革委员会。本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型式和基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标增、包装、运输、贮存等要求。本标准适用于极限压力在5×10^(-4)pa～5×10^(-3)Pa范围的真空蒸发镀膜设备。

起草单位

北京北仪创新真空技术有限责任公司、沈阳真空技术研究所

起草人

周毅、陈月增

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