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JB/T 8945-2010 真空溅射镀膜设备

JB/T 8945-2010 真空溅射镀膜设备

JB/T 8945-2010

行业标准-JB 机械推荐性
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  • 标准名称：真空溅射镀膜设备
  • 标准号：JB/T 8945-2010
    中国标准分类号：J78
  • 发布日期：2010-02-21
    国际标准分类号：23.160
  • 实施日期：2010-07-01
    技术归口：全国真空技术标准化技术委员会
  • 代替标准：代替JB/T 8945-1999
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：流体系统和通用件JB 机械

内容简介

行业标准《真空溅射镀膜设备》由全国真空技术标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在1×10Pa～1×10pa范围的真空溅射镀膜设备。

起草单位

广东中环真空设备有限公司

起草人

蔡东锋、张远青

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