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YS/T 837-2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

YS/T 837-2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

YS/T 837-2012

行业标准-YS 有色金属推荐性
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标准YS/T 837-2012标准状态

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标准详情

  • 标准名称：溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
  • 标准号：YS/T 837-2012
    中国标准分类号：H26
  • 发布日期：2012-11-07
    国际标准分类号：77.120
  • 实施日期：2013-03-01
    技术归口：全国有色金属标准化中心
  • 代替标准：
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：冶金有色金属其他有色金属及其合金YS 有色金属

内容简介

行业标准《溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法》由全国有色金属标准化中心归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了溅射用靶材-背板结合质量检验方法的一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等，该方法采用超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术。本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。

起草单位

有研亿金新材料股份有限公司、中国计量科学研究院、航天703所

起草人

刘红宾、尚再艳

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