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YS/T 791-2012 铂靶

YS/T 791-2012 铂靶

YS/T 791-2012

行业标准-YS 有色金属推荐性
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  • 标准名称：铂靶
  • 标准号：YS/T 791-2012
    中国标准分类号：H68
  • 发布日期：2012-11-07
    国际标准分类号：77.120
  • 实施日期：2013-03-01
    技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：冶金有色金属其他有色金属及其合金YS 有色金属

内容简介

行业标准《铂靶》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材(以下简称铂靶)，其他用途的铂靶材也可参照使用。

起草单位

有研亿金新材料股份有限公司

起草人

王永辉、朱晓光

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