JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法_标准下载

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JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法

JC/T 2133-2012

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标准JC/T 2133-2012标准状态

发布于：2012-12-28
实施于：2013-06-01
废止

标准详情

标准名称：半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法
标准号：JC/T 2133-2012
中国标准分类号：Q27
发布日期：2012-12-28
国际标准分类号：71.040
实施日期：2013-06-01
技术归口：全国工业陶瓷标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：工业和信息化部
标准分类：化工技术 JC 建材

内容简介

行业标准《半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法》由全国工业陶瓷标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了采用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)法测定半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的方法。本标准适用于半导体化学机械抛光(CMP)中抛光液用的各种硅溶胶。杂质元素包括：铝、钡、钙、铬、铜、铁、钾、镁、锰、钠、镍、钛、锌、锆等14种元素。

起草单位

中国科学院上海硅酸盐研究所

起草人

陈奕睿、屈海云

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