SJ/T 11451-2013 扩散炉能源消耗规范
SJ/T 11451-2013
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标准SJ/T 11451-2013标准状态
- 发布于:2013-10-17
- 实施于:2013-12-01
- 废止
内容简介
行业标准《扩散炉能源消耗规范》由中国电子技术标准化研究所归口上报,主管部门为工业和信息化部。本标准规定了扩散炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则。本标准适用于电子行业各企业元器件生产运行中的工作温度在400℃~1350℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉。
起草单位
北京七星华创电子股份有限公司、信息产业部节能监测中心、
起草人
李补忠、盛金龙、
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