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YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材

YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材

YS/T 936-2013

行业标准-YS 有色金属推荐性
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  • 标准名称：集成电路器件用镍钒合金靶材
  • 标准号：YS/T 936-2013
    中国标准分类号：H62
  • 发布日期：2013-10-17
    国际标准分类号：77.150
  • 实施日期：2014-03-01
    技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：冶金有色金属产品YS 有色金属镍和铬产品

内容简介

行业标准《集成电路器件用镍钒合金靶材》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了集成电路器件用镍钒合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同或订货单内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类镍钒合金溅射靶材。

起草单位

有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院、宁波江丰电子材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所

起草人

董亭义、何金江

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