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JB/T 12067-2014 TDL-GX硅芯生长炉

JB/T 12067-2014 TDL-GX硅芯生长炉

JB/T 12067-2014

行业标准-JB 机械推荐性
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  • 标准名称：TDL-GX硅芯生长炉
  • 标准号：JB/T 12067-2014
    中国标准分类号：K61
  • 发布日期：2014-07-14
    国际标准分类号：25.180
  • 实施日期：2014-11-01
    技术归口：全国工业电热设备标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：机械制造工业炉电炉JB 机械

内容简介

行业标准《TDL-GX硅芯生长炉》由全国工业电热设备标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了对TDL-GX硅芯生长炉(简称硅芯炉)产品的型号品种规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及订购和供货等。本标准适用于高频感应加热、采用基座法生长硅基发热载体的设备。

起草单位

西安电炉研究所有限公司、西安理工晶体科技有限公司、陕西天宏硅材料有限责任公司、国家质量监督检验中心、中冶电炉工程技术中心、陕西省电炉工程技术研究中心

起草人

陈巨才、朱琳

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