YS/T 987-2014 氯硅烷中碳杂质的测定方法——甲基二氯氢硅的测定_标准下载

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YS/T 987-2014 氯硅烷中碳杂质的测定方法——甲基二氯氢硅的测定

YS/T 987-2014

行业标准-YS 有色金属推荐性

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标准YS/T 987-2014标准状态

发布于：2014-10-14
实施于：2015-04-01
废止

标准详情

标准名称：氯硅烷中碳杂质的测定方法——甲基二氯氢硅的测定
标准号：YS/T 987-2014
中国标准分类号：H17
发布日期：2014-10-14
国际标准分类号：77.040
实施日期：2015-04-01
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
代替标准：被YS/T 987-2021代替
主管部门：工业和信息化部
标准分类：冶金金属材料试验金属材料化学分析 YS 有色金属

内容简介

行业标准《氯硅烷中碳杂质的测定方法——甲基二氯氢硅的测定》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了氯硅烷中碳杂质的测定方法,主要包括三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。本标准适用于三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。三氯氢硅、四氯化硅中甲基二氯氢硅的检测范围均为0.00001%~1.00%。

起草单位

四川新光硅业科技有限责任公司、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司、东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司、陕西天宏硅材料有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司、南京中锗科技股份有限公司、新特能源股份有限公司

起草人

敖细平、王波

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