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YS/T 983-2014 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法

YS/T 983-2014 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法

YS/T 983-2014

行业标准-YS 有色金属推荐性
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标准YS/T 983-2014标准状态

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标准详情

  • 标准名称：多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法
  • 标准号：YS/T 983-2014
    中国标准分类号：H17
  • 发布日期：2014-10-14
    国际标准分类号：77.040
  • 实施日期：2015-04-01
    技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：冶金YS 有色金属

内容简介

行业标准《多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法。本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分(氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅)的测定。检测范围为体积分数0.1%~100%。

起草单位

四川新光硅业科技有限责任公司、天威四川硅业有限责任公司、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司、峨嵋半导体材料研究所、陕西天宏硅材料有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司

起草人

敖细平、王波

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