YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定气相色谱法_标准下载

当前位置：标准网行业标准

YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定气相色谱法

YS/T 1060-2015

行业标准-YS 有色金属推荐性

收藏报错

标准YS/T 1060-2015标准状态

发布于：2015-04-30
实施于：2015-10-01
废止

标准详情

标准名称：硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定气相色谱法
标准号：YS/T 1060-2015
中国标准分类号：H17
发布日期：2015-04-30
国际标准分类号：77.040
实施日期：2015-10-01
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：工业和信息化部
标准分类：冶金金属材料试验金属材料化学分析制造业 YS 有色金属

内容简介

行业标准《硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定气相色谱法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氯二氢硅、四氯化硅)含量的气相色谱测定方法。本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氯二氢硅、四氯化硅)含量的测定。测定下限为0.002%。

起草单位

中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司

起草人

刘新军、刘英杰、郑华荣

相近标准

YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定气相色谱法
GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅
GB/T 30652-2023 硅外延用三氯氢硅
YS/T 987-2014 氯硅烷中碳杂质的测定方法——甲基二氯氢硅的测定
YS/T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定气相色谱法
DB53/T 500-2013 多晶硅用三氯氢硅组分含量测定气相色谱法
YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定？气相色谱质谱联用法
HG/T 6153-2023 甲基氯硅烷中乙基二氯硅烷的测定气相色谱质谱联用法
DB15/T 1242-2017 氯硅烷中六氯硅氧烷含量的测定气相色谱—质谱法

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

标准网本地下载