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SJ/T 11516-2015 薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范

SJ/T 11516-2015 薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范

SJ/T 11516-2015

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  • 标准名称：薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范
  • 标准号：SJ/T 11516-2015
    中国标准分类号：L90
  • 发布日期：2015-04-30
    国际标准分类号：31.030
  • 实施日期：2015-10-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：电子学电子技术专用材料SJ 电子电子

内容简介

行业标准《薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了薄膜晶体管(TFT)用掩模版产品的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输和储存。

起草单位

深圳清溢光电股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、

起草人

万承华、张沛、熊启龙、

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