YS/T 28-2015 硅片包装
标准YS/T 28-2015标准状态
- 发布于：2015-04-30
- 实施于：2015-10-01
- 废止
内容简介
行业标准《硅片包装》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了硅片的包装。本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片(简称硅研磨片)包装和太阳能电池用硅片包装，使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。
起草单位
杭州海纳半导体有限公司、有研新材料股份有限公司、南京国盛电子有限公司、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、东莞市华源光电科技有限公司
起草人
王飞尧、孙燕、马林宝
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- 标准质量：
- 发布者资料：
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