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YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法

YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法

YS/T 1059-2015

行业标准-YS 有色金属推荐性
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标准详情

  • 标准名称：硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法
  • 标准号：YS/T 1059-2015
    中国标准分类号：H17
  • 发布日期：2015-04-30
    国际标准分类号：77.040
  • 实施日期：2015-10-01
    技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：冶金金属材料试验制造业金属材料化学分析YS 有色金属

内容简介

行业标准《硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了硅外延用三氯氢硅中总碳含量的气相色谱测定方法。本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.00005%~0.005%。

起草单位

中锗科技有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司

起草人

刘英杰、郑华荣、柯尊斌

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