YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法_标准下载

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YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法

YS/T 15-2015

行业标准-YS 有色金属推荐性

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标准YS/T 15-2015标准状态

发布于：2015-04-30
实施于：2015-10-01
废止

标准详情

标准名称：硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法
标准号：YS/T 15-2015
中国标准分类号：H21
发布日期：2015-04-30
国际标准分类号：77.040
实施日期：2015-10-01
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
代替标准：代替YS/T 15-1991
主管部门：工业和信息化部
标准分类：冶金制造业 YS 有色金属

内容简介

行业标准《硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了测定硅外延层和扩散层厚度的磨角染色法。本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围为1μm~100μm。

起草单位

南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司

起草人

马林宝、杨帆、葛华

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