JB/T 6922-2015 真空蒸发镀膜设备

内容简介

行业标准《真空蒸发镀膜设备》，主管部门为工业和信息化部/国家能源局。本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型号、形式与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于极限压力在5×10Pa~5×10Pa范围内的真空蒸发镀膜设备(以下简称设备)。

起草单位

中山凯旋真空技术工程有限公司、湖南玉丰真空科学技术有限公司、东莞劲胜精密组件股份有限公司、肇庆市科润真空设备有限公司、东莞市汇成真空科技有限公司、大连远东真空技术有限公司、沈阳真空技术研究所

起草人

相近标准

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