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SJ/T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法

SJ/T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法

SJ/T 31080-2016

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  • 标准名称：光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法
  • 标准号：SJ/T 31080-2016
    中国标准分类号：L00
  • 发布日期：2016-01-15
    国际标准分类号：31-550
  • 实施日期：2016-06-01
    技术归口：中国电子技术标准化研究院
  • 代替标准：代替SJ/T 31080-1994
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：电子学电子产品生产设备SJ 电子电子

内容简介

行业标准《光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法》由中国电子技术标准化研究院归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了光掩模制作用图形发生器的完好要求和检查评定方法。本标准适用于3600F型图形发生器，其他型号图形发生器(如3600型、EM250型等)可参照本标准并结合该设备的具体指标检查评定。

起草单位

中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第五十四研究所、中国电子节能技术协会、

起草人

张倩、石少青、辛士卓、

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