SJ/T 31083-2016 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法
标准SJ/T 31083-2016标准状态
- 发布于：2016-01-15
- 实施于：2016-06-01
- 废止
内容简介
行业标准《真空镀膜设备完好要求和检查评定方法》由中国电子技术标准化研究院归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查评定方法。本标准适用于BOC700-4/G型真空镀膜设备，其他型号真空镀膜设备可参照执行。
起草单位
中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第五十四研究所、中国电子节能技术协会、
起草人
彭海涛、杨红伟、家秀云、
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