SJ/T 11634-2016 电子工业用显影液中甲醇的测定顶空气相色谱法_标准下载

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SJ/T 11634-2016 电子工业用显影液中甲醇的测定顶空气相色谱法

SJ/T 11634-2016

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标准SJ/T 11634-2016标准状态

发布于：2016-04-05
实施于：2016-09-01
废止

标准详情

标准名称：电子工业用显影液中甲醇的测定顶空气相色谱法
标准号：SJ/T 11634-2016
中国标准分类号：L90
发布日期：2016-04-05
国际标准分类号：31.030
实施日期：2016-09-01
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：工业和信息化部
标准分类：电子学电子技术专用材料 SJ 电子电子

内容简介

行业标准《电子工业用显影液中甲醇的测定顶空气相色谱法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了用顶空气相色谱法测定电子工业用显影液中甲醇含量的方法。本标准适用于电子工业用显影液中甲醇含量的测定。本方法甲醇最低检测浓度为1mg/kg。

起草单位

杭州格林达化学有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、

起草人

陈玉英、尹云舰、黄德新、

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