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YS/T 24-2016 外延钉缺陷的检验方法

YS/T 24-2016 外延钉缺陷的检验方法

YS/T 24-2016

行业标准-YS 有色金属推荐性
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标准YS/T 24-2016标准状态

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标准详情

  • 标准名称：外延钉缺陷的检验方法
  • 标准号：YS/T 24-2016
    中国标准分类号：H21
  • 发布日期：2016-04-05
    国际标准分类号：77.040
  • 实施日期：2016-09-01
    技术归口：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)
  • 代替标准：代替YS/T 24-1992
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：冶金金属材料试验制造业YS 有色金属

内容简介

行业标准《外延钉缺陷的检验方法》，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4μm的钉缺陷。如果钉缺陷数量比较少且彼此不相连，可对钉缺陷进行计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。

起草单位

南京国盛电子有限公司、有研半导体材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司

起草人

马林宝、杨帆、孙燕、徐新华

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