YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法_标准下载

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YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法

YS/T 23-2016

行业标准-YS 有色金属推荐性现行

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标准YS/T 23-2016标准状态

发布于：2016-04-05
实施于：2016-09-01
废止

标准详情

标准名称：硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法
标准号：YS/T 23-2016
中国标准分类号：H21
发布日期：2016-04-05
国际标准分类号：77.040
实施日期：2016-09-01
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)
代替标准：代替YS/T 23-1992
主管部门：工业和信息化部
标准分类：冶金金属材料试验制造业 YS 有色金属

内容简介

行业标准《硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法》，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了利用堆垛层错尺寸法测量硅外延层厚度的方法。本标准适用于在〈111〉、〈100〉和〈110〉晶向的硅单晶衬底上生长的2μm~120μm硅外延层厚度的测量。

起草单位

南京国盛电子有限公司、有研半导体材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司

起草人

马林宝、杨帆、葛华、刘小青、孙燕、徐新华

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