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YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法

YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法

YS/T 26-2016

行业标准-YS 有色金属推荐性
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标准YS/T 26-2016标准状态

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标准详情

  • 标准名称：硅片边缘轮廓检验方法
  • 标准号：YS/T 26-2016
    中国标准分类号：H21
  • 发布日期：2016-07-11
    国际标准分类号：77.040
  • 实施日期：2017-01-01
    技术归口：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)
  • 代替标准：代替YS/T 26-1992
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：冶金金属材料试验YS 有色金属

内容简介

行业标准《硅片边缘轮廓检验方法》，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了硅片边缘轮廓(包含切口)的检验方法。本标准适用于检验倒角硅片的边缘轮廓(包含切口)，砷化镓等其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行。

起草单位

洛阳单晶硅集团有限责任公司、有研半导体材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司

起草人

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