YS/T 1290-2018 多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法
YS/T 1290-2018
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标准YS/T 1290-2018标准状态
- 发布于:2018-10-22
- 实施于:2019-04-01
- 废止
内容简介
行业标准《多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法》,主管部门为工业和信息化部。本标准规定了硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的气相色谱测定方法。本标准适用于硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定。测定范围为0.05%~10.00%。
起草单位
内蒙古神舟硅业有限责任公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、内蒙古盾安光伏科技有限公司、四川永祥多晶硅有限公司
起草人
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