JB/T 5631-1991 半导体器件外延炉能耗标准_标准下载

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JB/T 5631-1991 半导体器件外延炉能耗标准

JB/T 5631-1991

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标准JB/T 5631-1991标准状态

发布于：2017-05-12
实施于：1992-07-01
废止

标准详情

标准名称：半导体器件外延炉能耗标准
标准号：JB/T 5631-1991
中国标准分类号：J00
发布日期：2017-05-12
国际标准分类号：21-010
实施日期：1992-07-01
技术归口：
代替标准：
主管部门：机械电子工业部
标准分类：机械系统和通用件机械 JB 机械

内容简介

行业标准《半导体器件外延炉能耗分等》，主管部门为机械电子工业部。

起草单位

起草人

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