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HG/T 5895-2022 工业用混合气体 硅烷/氮气

HG/T 5895-2022 工业用混合气体 硅烷/氮气

HG/T 5895-2022

行业标准-HG 化工推荐性现行

标准HG/T 5895-2022标准状态

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标准详情

  • 标准名称:工业用混合气体 硅烷/氮气
  • 标准号:HG/T 5895-2022
    中国标准分类号:G10
  • 发布日期:2022-09-30
    国际标准分类号:71.100
  • 实施日期:2023-04-01
    技术归口:全国气体标准化技术委员会混合气体分技术委员会
  • 代替标准:
    主管部门:工业和信息化部
  • 标准分类:化工技术化工产品工业气体化工制造业HG 化工

内容简介

行业标准《工业用混合气体 硅烷/氮气》由全国气体标准化技术委员会混合气体分技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。本文件规定了工业用氮中硅烷混合气体的制备方法、试验方法,确立了检验规则,规定了混合气体的技术要求、标志、包装、储存及安全信息的要求。本文件适用于由电子工业用硅烷和高纯氮(或超纯氮)为原料制备的混合气体。

起草单位

广东华特气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司等、昊华气体有限公司西南分公司、

起草人

傅铸红、孙福楠、张金波、

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