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SJ/T 11451-2022 扩散炉能源消耗规范

SJ/T 11451-2022 扩散炉能源消耗规范

SJ/T 11451-2022

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标准SJ/T 11451-2022标准状态

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  • 标准名称：扩散炉能源消耗规范
  • 标准号：SJ/T 11451-2022
    中国标准分类号：L97
  • 发布日期：2022-10-20
    国际标准分类号：27.01
  • 实施日期：2023-01-01
    技术归口：中国电子技术标准化研究院
  • 代替标准：代替SJ/T 11451-2013
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：能源和热传导工程SJ 电子

内容简介

行业标准《扩散炉能源消耗规范》由中国电子技术标准化研究院归口上报，主管部门为工业和信息化部。本文件规定了扩散炉能源消耗等级指标、可比单耗计算方法和评价规则。本文件适用于工作温度在400℃~1350℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉。

起草单位

北京北方华创微电子装备有限公司###中国电子技术标准化研究院###晶澳太阳能科技股份有限公司###株洲中车时代半导体有限公司###英利能源（中国）有限公司###北京赛西认证有限责任公司

起草人

李补忠###吴秀祥###孙朋涛###张颖###郝晓明###赵永猛###刘月雷###张红妹###张生春###李琳

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