SJ 20717A-2018 氧化锌压电薄膜规范_标准下载

SJ 20717A-2018 氧化锌压电薄膜规范

行业标准-SJ 电子强制性

本规范规定了氧化锌(ZnO)压电薄膜(以下简称压电薄膜)的要求、质量保证规定和交货准备等。本规范适用于军用声体波微波延迟线(BAWDL)、声表面波(SAW)滤波器、声光偏转器及薄膜声体波谐振器(FBAR)用层状氧化锌压电薄膜复合材料。

中国电子科技集团公司第二十六研究所

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