SJ 21128-2016 卧式等离子体化学气相淀积设备(PECVD)通用规范
SJ 21128-2016
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标准SJ 21128-2016标准状态
- 发布于：2016-01-19
- 实施于：2016-03-01
- 废止
内容简介
本规范规定了卧式等离子体化学气相淀积设备(以下简称设备)的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项。本规范适用于卧式等离子体化学气相淀积设备的设计、生产、检验、验收和订购。
起草单位
中国电子科技集团公司第四十八研究所
起草人
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