SJ 21263-2018 MEMS加速度传感器参数标定工艺技术要求_标准下载

SJ 21263-2018 MEMS加速度传感器参数标定工艺技术要求

行业标准-SJ 电子强制性

本标准规定了MEMS加速度传感器制造过程中的人员、环境、安全、设备和仪器的一般要求，以及工艺流程、工艺准备和参数标定的详细要求。本标准适用于MEMS加速度传感器制造过程中偏值、标度因数、偏值温度灵敏度、标度因数温度灵敏度和带宽的标定。

中国电子科技集团公司第十三研究所

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